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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：上海大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Measurements of Microstructural, Chemical, Optical, and Electrical Properties of Silicon-Oxygen-Nitrogen Films Prepared by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition 期刊论文 NANOMATERIALS, 2018, 卷号: 8, 页码: 1-14 作者:  Ma, Hong-Ping[1];  Lu, Hong-Liang[2];  Yang, Jia-He[3];  Li, Xiao-Xi[4];  Wang, Tao[5] 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2019/04/22 silicon nitride  silicon oxynitride  plasma enhanced atomic layer deposition  oxygen contamination  optical properties   Nitrogen-Doped ZnO Film Fabricated Via Rapid Low-Temperature Atomic Layer Deposition for High-Performance ZnON Transistors 期刊论文 IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2018, 卷号: 65, 页码: 3283-3290 作者:  Ding, Xingwei[1];  Yang, Jun[2];  Qin, Cunping[3];  Yang, Xuyong[4];  Ding, Tao[5] 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/04/22 Atomic layer deposition  density of states (DOS)  oxygen defects  nitrogen-doped ZnO (ZnON) thin-film transistors (TFTs)   Influence of nitrogen gas on structure and properties of DLC films prepared by XeCl pulsed laser deposition 会议论文 TRANSACTIONS OF NONFERROUS METALS SOCIETY OF CHINA, 2006-06-01 作者:  Chen, YQ[1];  Peng, HY[2];  Zhao, LX[3];  Li, MJ[4];  Xia, YB[5] 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/05/10 DLC films  PLD  nitrogen pressure DLC films  PLD  nitrogen pressure