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科研机构
半导体研究所 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
1999 [2]
1998 [1]
学科主题
半导体化学 [3]
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学科主题:半导体化学
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The growth of SiC on Si substrates with C2H4 and Si2H6
期刊论文
applied surface science, 1999, 卷号: 148, 期号: 3-4, 页码: 189-195
Wang YS
;
Li JM
;
Lin LY
;
Zhang FF
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2010/08/12
Si
SiC
epitaxial growth
RHEED
Raman spectrum
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
HETEROEPITAXIAL GROWTH
HYDROCARBON RADICALS
SILICON
SURFACES
FILMS
LAYER
MOLECULAR-BEAM EPITAXY
Semi-continuous synthesis of single-walled carbon nanotubes by a hydrogen arc discharge method
期刊论文
carbon, 1999, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 1865-1868
作者:
Tan PH
收藏
  |  
浏览/下载:56/0
  |  
提交时间:2010/08/12
carbon nanotubes
LARGE-SCALE
DIAMETER
RAMAN-SCATTERING
Solid-phase crystallization and dopant activation of amorphous silicon films by pulsed rapid thermal annealing
期刊论文
applied surface science, 1998, 卷号: 135, 期号: 1-4, 页码: 205-208
Wang YQ
;
Liao XB
;
Ma ZX
;
Yue GZ
;
Diao HW
;
He J
;
Kong GL
;
Zhao YW
;
Li ZM
;
Yun F
收藏
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浏览/下载:26/0
  |  
提交时间:2010/08/12
amorphous silicon
solid-phase crystallization
rapid thermal annealing
LPCVD POLYCRYSTALLINE SILICON
LOW-TEMPERATURE
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
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