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电子能量损失谱在类金刚石碳膜结构表征中的应用 期刊论文
微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology, 1993, 期号: 4, 页码: 13-22
作者:  王维洁;  才勇;  王天民
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