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上海光学精密机械研究... [6]
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期刊论文 [4]
会议论文 [2]
发表日期
2013 [3]
2012 [3]
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Real-time Measurement of Full Field Retardation Near Quarter Wavelength (vol 16, pg 457, 2012)
期刊论文
j. opt. soc. korea., 2013, 卷号: 17, 期号: 1, 页码: 110
作者:
Liu, Longhai
;
Zeng, Aijun
;
Yuan, Qiao
;
Zhu, Linglin
;
Fang, Ruifang
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  |  
浏览/下载:40/0
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提交时间:2016/11/28
Design of zoom system for pupil shaping of lithography tool
会议论文
international conference on optical instruments and technology - optical systems and modern optoelectronic instruments
作者:
Fang, Ruifang
;
Zeng, Aijun
;
Zhang, Shanhua
;
Huang, Huijie
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2016/11/28
Design and simulation of illuminator with micro scanning slit array for NA 0.75 lithography system
会议论文
conference on optical microlithography xxvi
作者:
Zhu, Linglin
;
Zeng, Aijun
;
Zhang, Shanhua
;
Fang, Ruifang
;
Huang, Huijie
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2016/11/28
Simultaneous measurement of retardation and fast axis angle of eighth-wave plate in real time
期刊论文
optics communications, 2012, 期号: 24
Ruifang Fang
;
Aijun Zeng
;
Linglin Zhu
;
Longhai Liu
;
Huijie Huang
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2013/09/12
Real-time Measurement of Full Field Retardation near Quarter Wavelength
期刊论文
journal of the optical society of korea, 2012, 期号: 4
Longhai Liu
;
Aijun Zeng
;
Qiao Yuan
;
Linglin Zhu
;
Ruifang Fang
;
Huijie Huang
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2013/09/12
Real-time measurement of retardation of eighth-wave plate independent of fast-axis direction
期刊论文
chinese optics letters, 2012, 卷号: 10, 期号: 9
Ruifang Fang
;
Aijun Zeng
;
Longhai Liu
;
Linglin Zhu
;
Huijie Huang
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2013/09/12
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