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上海微系统与信息技... [52]
内容类型
期刊论文 [52]
发表日期
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Effects of annealing treatment and partial substitution of Cu for Co on phase composition and hydrogen storage performance of La0.7Mg0.3Ni3.2Co0.35 alloy
期刊论文
INTERNATIONAL JOURNAL OF HYDROGEN ENERGY, 2012, 卷号: 37, 期号: 1, 页码: 1074-1079
Huang, TZ
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Yuan, XX
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Yu, JM
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Wu, Z
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Han, JT
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Sun, GX
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Xu, NX
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Zhang, YH
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提交时间:2013/04/24
Hydrogen storage alloys
PCT
XRD
Electrochemical discharge capacity
Studies on H2O-based Atomic Layer Deposition of Al2O3 Dielectric on Pristine Graphene
期刊论文
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS, 2012, 卷号: 27, 期号: 9, 页码: 956-960
Zhang, YW
;
Wan, L
;
Cheng, XH
;
Wang, ZJ
;
Xia, C
;
Cao, D
;
Jia, TT
;
Yu, YH
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提交时间:2013/04/17
graphene
atomic layer deposition
Al2O3 dielectrics
Plasma enhanced atomic layer deposition of HfO2 with in situ plasma treatment
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 93, 页码: 15-18
Xu, DW
;
Cheng, XH
;
Zhang, YW
;
Wang, ZJ
;
Xia, C
;
Cao, D
;
Yu, YH
;
Shen, DS
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2013/04/17
PEALD
HfO2
Plasma treatment
High-k
Nano-scale gap filling and mechanism of deposit-etch-deposit process for phase-change material
期刊论文
CHINESE PHYSICS B, 2012, 卷号: 21, 期号: 11, 页码: 115203
Ren, WC
;
Liu, B
;
Song, ZT
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Xiang, YH
;
Wang, ZT
;
Zhang, BC
;
Feng, SL
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2013/04/23
deposit-etch-deposit process
single step deposit
gap filling
re-deposition
Realization of 850 V breakdown voltage LDMOS on Simbond SOI
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 91, 页码: 102-105
Wang, ZJ
;
Cheng, XH
;
He, DW
;
Xia, C
;
Xu, DW
;
Yu, YH
;
Zhang, D
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Wang, YY
;
Lv, YQ
;
Gong, DW
;
Shao, K
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提交时间:2013/04/17
SOI
Simbond
High voltage device
LDMOS
Synthesis of large-area graphene on molybdenum foils by chemical vapor deposition
期刊论文
CARBON, 2012, 卷号: 50, 期号: 14, 页码: 5226-5231
Wu, YW
;
Yu, GH
;
Wang, HM
;
Wang, B
;
Chen, ZY
;
Zhang, YH
;
Wang, B
;
Shi, XP
;
Xie, XM
;
Jin, Z
;
Liu, XY
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2013/04/17
Synthesis of large-area graphene on molybdenum foils by chemical vapor deposition
期刊论文
CARBON, 2012, 卷号: 50, 期号: 14, 页码: 5226-5231
Wu, YW
;
Yu, GH
;
Wang, HM(重点实验室)
;
Wang, B
;
Chen, ZY
;
Zhang, YH
;
Wang, B
;
Shi, XP
;
Xie, XM(重点实验室)
;
Jin, Z
;
Liu, XY
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2013/05/10
Chemistry
Materials Science
Physical
Multidisciplinary
Studies on H2O-based Atomic Layer Deposition of Al2O3 Dielectric on Pristine Graphene
期刊论文
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS, 2012, 卷号: 27, 期号: 9, 页码: 956-960
Zhang, YW
;
Wan, L
;
Cheng, XH(重点实验室)
;
Wang, ZJ
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Xia, C
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Cao, D
;
Jia, TT
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Yu, YH(重点实验室)
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2013/05/10
Materials Science
Ceramics
Plasma enhanced atomic layer deposition of HfO2 with in situ plasma treatment
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 93, 页码: 15-18
Xu, DW
;
Cheng, XH
;
Zhang, YW
;
Wang, ZJ
;
Xia, C
;
Cao, D
;
Yu, YH
;
Shen, DS
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2013/05/10
Engineering
Physics
Electrical & Electronic
Nanoscience & Nanotechnology
Applied
Optics
Nano-scale gap filling and mechanism of deposit-etch-deposit process for phase-change material
期刊论文
CHINESE PHYSICS B, 2012, 卷号: 21, 期号: 11, 页码: 115203
Ren, WC
;
Liu, B(重点实验室)
;
song, zt(重点实验室)
;
Xiang, YH
;
Wang, ZT
;
Zhang, BC
;
Feng, SL(重点实验室)
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2013/05/10
Physics
Multidisciplinary
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