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科研机构
上海微系统与信息技术... [6]
内容类型
期刊论文 [6]
发表日期
2000 [3]
1999 [2]
1998 [1]
学科主题
Instrument... [2]
Materials ... [1]
Materials ... [1]
Nuclear Sc... [1]
Physics, A... [1]
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Structural and electrical characteristics of oxygen-implanted 6H-SiC
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2000, 卷号: 169, 页码: 1-5
Wang, LW
;
Huang, JP
;
Duo, XZ
;
Song, ZT
;
Lin, CL
;
Zetterling, CM
;
Ostling, M
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/03/24
ENHANCED THERMAL-OXIDATION
SILICON-CARBIDE
ION-IMPLANTATION
AMORPHIZATION
LAYERS
Investigation of damage behaviour and isolation effect of n-type 6H-SiC by implantation of oxygen
期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2000, 卷号: 33, 期号: 12, 页码: 1551-1555
Wang, LW
;
Huang, JP
;
Duo, XZ
;
Song, ZT
;
Lin, CL
;
Zetterling, CM
;
Ostling, M
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/24
ENHANCED THERMAL-OXIDATION
ION-IMPLANTATION
SILICON-CARBIDE
AMORPHIZATION
LAYERS
Variation of strain/defects in H+-implanted single crystal silicon
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2000, 卷号: 170, 期号: 1-2, 页码: 98-104
Duo, XZ
;
Liu, WL
;
Zhang, M
;
Fu, XR
;
Huang, JP
;
Lin, CL
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2012/03/24
DEFECTS
Preparation and characterization of MgO thin films by a novel sol-gel method
期刊论文
JOURNAL OF SOL-GEL SCIENCE AND TECHNOLOGY, 1999, 卷号: 16, 期号: 3, 页码: 277-281
Fu, XR
;
Song, ZT
;
Wu, GM
;
Huang, JP
;
Duo, XZ
;
Lin, CL
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/25
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
ORIENTED PBTIO3
BUFFER LAYERS
GROWTH
SI(100)
GAAS
SUBSTRATE
OXIDE
SI
Total dose radiation effects of Au/PbZr0.52Ti0.48O3/YBa2Cu3O7-delta capacitors
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 1999, 卷号: 340, 期号: 1-2, 页码: 132-136
Gao, JX
;
Zheng, LR
;
Duo, XZ
;
Huang, JP
;
Yang, LX
;
Lin, CL
;
Yan, RL
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/03/25
FERROELECTRIC THIN-FILMS
IONIZING-RADIATION
O HETEROSTRUCTURES
PZT CAPACITORS
FATIGUE
RETENTION
MEMORIES
SILICON
Total dose radiation effects of Au/PbZr0.52Ti0.48O3/YBa2Cu3O7-delta/LaAlO3 ferroelectric capacitors
期刊论文
RADIATION EFFECTS AND DEFECTS IN SOLIDS, 1998, 卷号: 145, 期号: 4, 页码: 319-327
Gao, JX
;
Zheng, LR
;
Duo, XZ
;
Huang, JP
;
Lin, CL
;
Yan, RL
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/25
THIN-FILMS
IONIZING-RADIATION
PZT CAPACITORS
MEMORIES
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