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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于低温键合技术制备SOI材料的研究 会议论文 第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005 詹达; 马小波; 刘卫丽; 宋志棠; 林梓鑫; 沈勤我 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/01/18 SOI材料 等离子体活化 键合强度 低温键合   等离子体键合和B+/H+共注实现低温SOI工艺的研究 会议论文 第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005 马小波; 詹达; 刘卫丽; 宋志棠; 沈勤我; 林梓鑫 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/01/18 等离子体键合 低温SOI工艺 硼氢离子共注