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SOI衬底对3CSiC异质外延薄膜内残存应力的影响(英文) 期刊论文
半导体学报, 2005, 期号: 9, 页码: 1681-1687
王晓峰; 黄风义; 孙国胜; 王雷; 赵万顺; 曾一平; 李海鸥; 段晓峰
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