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科研机构
北京大学 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1989 [1]
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TiSi_2薄膜的形成特性及TiSi_2/多晶硅复合栅结构的研究
期刊论文
半导体学报, 1989
陶江
;
赵铁民
;
张国炳
;
王阳元
;
汪锁发
;
李永洪
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提交时间:2015/11/13
TiSi_2
MOSFET
多晶硅
自对准技术
MOS电容
临界值
栅氧化层
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