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硅基Al2O3薄膜芯片电容器及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102117699A, 申请日期: 2011-07-06, 公开日期: 2011-07-06
王伟; 孙晓玮; 谈惠祖; 周健; 孙浩
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