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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Illumination system without scanning slit for lithographic tools 会议论文 27th optical microlithography conference as part of the spie advanced lithography symposium 作者:  Zhang, Yunbo;  Zeng, Aijun;  Wang, Ying;  Chen, Mingxing;  Zhang, Shanhua 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/28 一种新型压电步进驱动器理论及试验研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010 作者:  王斌 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/11/28 压电步进驱动器  柔性铰链  层叠式压电陶瓷  断电箝位   Design and control of an ultraprecision stage used in grating tiling 期刊论文 chinese journal of mechanical engineering (english edition), 2007, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 1, 4 Wang Yong and Liu Zhigang and Bo Feng and朱健强 收藏  |  浏览/下载：1337/229  |  提交时间：2009/09/18 Control  Design  Diffraction gratings  High energy lasers  Mechanisms  Piezoelectric actuators  Stability  Voltage control