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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：武汉轻工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Vacuum degree measurement for MEMS vacuum package based on quartz crystal oscillator 期刊论文 Sensor Letters, 2008, 卷号: 6, 期号: 1, 页码: 178-183 作者:  Shi, Xiong*;  Gan, Zhi-Yin;  Liu, Sheng 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2019/12/27 DIRECT DIGITAL FREQUENCY SYNTHESIZER  MEMS  QUARTZ CRYSTAL  RESONANCE FREQUENCY  RESONANCE IMPEDANCE  VACUUM DEGREE  VACUUM PACKAGING