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科研机构
上海微系统与信息技... [25]
内容类型
期刊论文 [24]
会议论文 [1]
发表日期
2012 [1]
2011 [4]
2009 [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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75
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85
90
95
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Characterization of La0.67Sr0.33MnOz thin films synthesized by metal-organic decomposition on different substrates
期刊论文
CERAMICS INTERNATIONAL, 2012, 卷号: 38, 期号: 8, 页码: 6405-6410
Zhu, XR
;
Shen, HL
;
Tsukamoto, K
;
Yanagisawa, T
;
Okutomi, M
;
Higuchi, N
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2013/04/17
Metal-organic decomposition
Structure
Magnetotransport
LSMO film
An Effective Approach for Restraining Galvanic Corrosion of Polycrystalline Silicon by Hydrofluoric-Acid-Based Solutions
期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2011, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: 470-475
Liu, YF
;
Xie, J
;
Zhang, ML
;
Yang, JL
;
Yang, FH
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浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2012/04/12
IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
An Effective Approach for Restraining Galvanic Corrosion of Polycrystalline Silicon by Hydrofluoric-Acid-Based Solutions
期刊论文
IEEE JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2011, 卷号: 20, 期号: 2 Pages, 页码: 470-475
Liu, YF
;
Xie, J
;
Zhang, ML
;
Yang, JL
;
Yang, FH
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/05/12
Pb(Zr
0.52
Ti
0.48
)O
3
memory capacitor on Si with a polycrystalline silicon/SiO
2
stacked buffer layer
期刊论文
Journal of Semiconductors., 2011, 卷号: 32, 期号: 9
Cai, Daolin
;
Li, Ping
;
Zhai, Yahong
;
Song, ZT
;
Chen, HP
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浏览/下载:50/0
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提交时间:2012/08/28
A simple method to effectively restrain electrochemical corrosion of polycrystalline silicon layers by HF-based solutions
会议论文
IEEE MEMS 2011:the 24th IEEE Conference on Micro Electro mechanicsal Systems, 2011
J. Xie, Y. F. Liu, M. L. Zhang, J. L. Yang, and F. H. Yang
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/05/04
A non-isothermal model for squeeze film damping of rarefied gas
期刊论文
2009 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2009, 页码: 213-216
Yang, H
;
Cheng, HT
;
Dai, B
;
Li, XX
;
Wang, YL
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2011/12/17
POLYSILICON
REGIME
MEMS
Polycrystalline Si-rich SiSbx bottom heating layer for phase change memory
期刊论文
ELECTROCHEMICAL AND SOLID STATE LETTERS, 2008, 卷号: 11, 期号: 6, 页码: H147-H149
Rao, F
;
Song, ZT
;
Zhang, T
;
Gong, YF
;
Wu, LC
;
Feng, SL
;
Chen, B
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/03/24
THIN-FILMS
THERMAL-CONDUCTIVITY
SILICON
Doped polycrystalline 3C-SiC films deposited by LPCVD for radio-frequency MEMS applications
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2008, 卷号: 25, 期号: 6 Pages, 页码: 2269-2272
Zhao, YM
;
Sun, GS
;
Ning, J
;
Liu, XF
;
Zhao, WS
;
Wang, L
;
Li, JM
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2012/05/12
Squeeze film air damping in MEMS
期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2007, 卷号: 136, 期号: 1, 页码: 3-27
Bao, MH
;
Yang, H
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2012/03/24
TORSION MIRROR
VACUUM
MODEL
ACCELEROMETER
POLYSILICON
SIMULATION
Resonance enhancement of micromachined resonators with strong mechanical-coupling between two degrees of freedom
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2003, 卷号: 65, 期号: 1-2, 页码: 1-12
Li, XX
;
Ono, T
;
Lin, RM
;
Esashi, M
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2011/12/17
POLYSILICON
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