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科研机构
上海微系统与信息技术... [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2012 [2]
1991 [1]
学科主题
Chemistry [1]
Instrument... [1]
Physics [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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The chemistry and thermal stability of HfTaO/Si interface by x-ray photoelectron spectroscopy
期刊论文
SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2012, 卷号: 44, 期号: 4, 页码: 395-398
Yu, T
;
Jin, CG
;
Yang, XM
;
Wu, XM
;
Zhuge, LJ
;
Ge, SB
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2013/04/17
high-k dielectric
thin film
HfTaO
x-ray photoelectron spectroscopy
interfacial chemistry
thermal property
Investigation of CuSb4Te2 alloy for high-speed phase change random access memory applications
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2012, 卷号: 100, 期号: 19, 页码: 193114
Lu, YG
;
Song, SN
;
Song, ZT
;
Rao, F
;
Wu, LC
;
Zhu, M
;
Liu, B
;
Yao, DN
收藏
  |  
浏览/下载:14/0
  |  
提交时间:2013/04/17
STABILITY OF SIMOX AND SIMNI STRUCTURES AT HIGH-TEMPERATURE IN HYDROGEN
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1991, 卷号: 59, 页码: 685-689
LI, JH
;
LIN, CL
;
LIN, ZX
;
ZHOU, ZY
;
Zou, SC(邹世昌)
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提交时间:2012/03/25
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