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科研机构
上海微系统与信息技术... [7]
内容类型
期刊论文 [7]
发表日期
1997 [2]
1996 [1]
1995 [2]
1994 [2]
学科主题
Materials ... [4]
Multidisci... [3]
Multidisci... [2]
Applied [1]
Condensed ... [1]
Materials ... [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Pulsed excimer laser deposition of Pb(Zr,Ti)O-3 thin films on SIMOX substrates
期刊论文
FERROELECTRICS, 1997, 卷号: 195, 期号: 1-4, 页码: 207-210
Lin,CG
;
Zheng,LR
;
Xu,WP
;
Zou,SC
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/25
Excimer laser deposition of c-axis oriented Pb(Zr,Ti)O-3 thin films on silicon substrates with direct-current glow discharge
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH, 1997, 卷号: 12, 期号: 5, 页码: 1179-1182
Zheng, LR
;
Hu, XH
;
Yang, PX
;
Xu, WP
;
Lin, CL
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2012/03/25
ZIRCONATE-TITANATE FILMS
ABLATION
Preparation of Pb(Zr0.52Ti0.48)O-3 thin films on silicon-on-insulator substrates by excimer laser deposition combined with rapid thermal annealing
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE, 1996, 卷号: 31, 期号: 20, 页码: 5415-5420
Zheng,LR
;
Lin,CL
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/03/25
SIMOX
Pulsed excimer laser deposition and rapid thermal annealing of ferroelectric Pb(Zr(0.52)Ti0.48) thin films on Si-on-insulator
期刊论文
FERROELECTRIC THIN FILMS IV, 1995, 卷号: 361, 期号: 0, 页码: 563-568
CHEN,YP
;
ZHENG,LR
;
LIN,CL
;
XU,XL
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2012/03/25
PULSED EXCIMER-LASER DEPOSITION AND CHARACTERIZATION OF FERROELECTRIC LEAD-ZIRCONATE-TITANATE THIN-FILMS
期刊论文
CHINESE SCIENCE BULLETIN, 1995, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 340-344
CHEN,YQ
;
ZHENG,LR
;
ZHANG,SK
;
LIN,CG
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2012/03/25
INFLUENCE OF RAPID THERMAL ANNEALING ON STRUCTURAL AND INTERFACIAL PROPERTIES OF LEAD-ZIRCONATE-TITANATE THIN-FILMS PREPARED BY EXCIMER-LASER DEPOSITION
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 1994, 卷号: 11, 期号: 8, 页码: 518-521
ZHENG,LR
;
CHEN,YQ
;
LIN,CL
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/25
STUDIES ON EXCIMER-LASER DOPING OF GAAS USING SULFUR ADSORBATE AS DOPANT SOURCE
期刊论文
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 1994, 卷号: 58, 期号: 2, 页码: 191-195
ZHANG,SK
;
SUGIOKA,K
;
FAN,J
;
TOYODA,K
;
Zou,SC
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/25
SILICON
SI
BORON
IRRADIATION
AMBIENT
GAS
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