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半导体器件制造方法 专利
专利号: CN201310125650.4, 申请日期: 2018-02-13, 公开日期: 2014-10-15
作者:  李俊峰;  唐波;  唐兆云;  闫江
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三维存储器及其制造方法 专利
专利号: CN201410404550.X, 申请日期: 2017-06-06, 公开日期: 2014-11-19
作者:  霍宗亮;  刘明;  靳磊
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