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一种激光加工晶圆的控制方法及系统 专利
专利号: CN201710574394.5, 申请日期: 2018-10-09, 公开日期: 2017-10-10
作者:  张紫辰;  侯煜;  刘嵩
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鳍式场效应晶体管及其假栅的制造方法 专利
专利号: CN201410392773.9, 申请日期: 2018-07-10, 公开日期: 2016-02-17
作者:  洪培真;  殷华湘;  朱慧珑;  刘青;  李俊峰
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一种自对准接触孔刻蚀工艺方法 专利
专利号: CN201310438771.4, 申请日期: 2018-06-26, 公开日期: 2015-03-25
作者:  李俊杰;  李春龙;  李俊峰;  王文武;  洪培真
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一种Fin-FET的沟槽隔离的形成方法 专利
专利号: CN201410008441.6, 申请日期: 2018-06-19, 公开日期: 2015-07-08
作者:  杨涛;  卢一泓;  张月;  崔虎山;  李俊峰
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一种沟道替换工艺的监测方法 专利
专利号: CN201410409029.5, 申请日期: 2018-06-01, 公开日期: 2016-02-24
作者:  崔虎山;  卢一泓;  赵超;  李俊峰;  杨涛
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半导体器件制造方法 专利
专利号: CN201510514552.9, 申请日期: 2018-05-15, 公开日期: 2016-01-06
作者:  叶甜春
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III族氮化物低损伤刻蚀方法 专利
专利号: CN201510868081.1, 申请日期: 2018-05-01, 公开日期: 2016-02-24
作者:  魏珂;  刘新宇;  黄森;  王鑫华
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激光退火装置及方法 专利
专利号: CN201611110318.0, 申请日期: 2018-04-27, 公开日期: 2017-02-15
作者:  张紫辰;  王晓峰;  潘岭峰
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一种半导体器件的掺杂方法 专利
专利号: CN201410105802.9, 申请日期: 2018-04-06, 公开日期: 2015-09-23
作者:  李俊峰;  张琦辉;  蒋浩杰;  张浩;  刘青
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半导体器件制造方法 专利
专利号: CN201210435410.X, 申请日期: 2018-02-13, 公开日期: 2014-05-14
作者:  尹海洲;  殷华湘;  秦长亮
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