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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：光电技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真 期刊论文 激光技术, 2019, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 136-142 作者:  张景文;  范斌;  李志炜;  汉语 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2021/05/11 光学制造  反应离子刻蚀  变结构腔室  流热场分布  滑移区稀薄气体  数值模拟   自适应光学并行波前处理机的设计及性能评价研究 学位论文 博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2008 周璐春 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2013/11/19 自适应光学  并行处理  加速比  并行效率  可扩性