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Localized Si–Au eutectic bonding around sunken pad for fabrication of a capacitive absolute pressure sensor 期刊论文
Sensors and Actuators A: Physical, 2013, 卷号: 201, 期号: ?, 页码: 241
刘启民,杜利东,赵湛,肖丽,孙学金
收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2014/04/15
High-Performance Closed-Loop Interface Circuit for High-Q Capacitive Microaccelerometers 期刊论文
IEEE SENSORS JOURNAL, 2013, 卷号: 13, 期号: 5
叶珍华,杨海钢,尹韬,黄国城,刘飞
收藏  |  浏览/下载:33/0  |  提交时间:2014/05/12
A 97 dB dynamic range CSA-based readout circuit with analog temperature compensation for MEMS capacitive sensors 期刊论文
Journal of Semiconductors, 2013, 卷号: 34, 期号: 11
尹韬,张翀,吴焕铭,吴其松,杨海钢
收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2014/05/12
Formation of the Nano-Scale Archipelago Shape Upper Electrode of Capacitive Humidity Sensor 会议论文
IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 中国, 2010-01-20
张建刚; 朱晓阳; 方震
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2011/06/03
Noise and Mismatch Optimization for Capacitive MEMS Readout 期刊论文
半导体学报 (Chinese Journal of Semiconductors), 2009, 卷号: 30, 期号: 7, 页码: 115003-1~6
张翀; 吴其松; 杨海钢
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2010/03/18


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