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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：苏州纳米技术与纳米仿生研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Glass-SOI-Based Hybrid-Bonded Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer With Hermetic Cavities for Immersion Applications 期刊论文 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2016, 卷号: 25, 期号: 5 作者:  Miao, Jing;  Wang, Hui;  Li, Peng;  Shen, Wenjiang(沈文江);  Xue, Chenyang 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2017/03/11 Micro-electro-mechanical systems capacitive ultrasonic transducer with a higher electromechanical coupling coefficient 期刊论文 Micro & Nano Letters, 2015, 卷号: 10, 期号: 10, 页码: 4 作者:  Miao, J(苗静);  Shen, WJ(沈文江);  He, CD;  Xue, CY;  Xiong, JJ 收藏  |  浏览/下载：80/0  |  提交时间：2015/12/31 silicon  elemental semiconductors  silicon-on-insulator  wafer bonding  electromechanical effects  ultrasonic transducers  capacitive transducers  micromechanical devices  micromachining  vibrations  membranes  finite element analysis  reliability  capacitance  electromechanical coupling coefficient  capacitive micromachined ultrasonic transducer  impedance matching  propagation medium  microelectromechanical system capacitive ultrasonic transducer  silicon on insulator  wafer bonding  optimum geometric dimensions  membrane mechanical vibration  electrical characteristics  finite-element analysis  operation mode  device safety  device reliability  equivalent stress  operation-collapse voltage  bottom electrodes  glass substrate surface  parallel parasitic capacitance  Si  SiO2