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金属研究所 [2]
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学位论文 [1]
期刊论文 [1]
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2011 [1]
2009 [1]
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磁控反应溅射与激光退火处理制备高浓度氮掺杂二氧化钛晶化薄膜材料
期刊论文
中国基础科学, 2011, 期号: 1, 页码: 15-17
李琦
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尚建库
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提交时间:2012/04/12
磁控反应溅射
激光退火
薄膜晶化
掺杂
a-Si薄膜的激光表面晶化行为研究
学位论文
硕士, 金属研究所: 中国科学院金属研究所, 2009
崔连武
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提交时间:2012/04/10
a-Si薄膜
准分子激光
表面晶化
数值模拟
温度场
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