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| Al焊盘表面氧化膜对金丝键合的影响 期刊论文 2010, 2010 陈国海; 刘豫东; 马莒生; Chen Guohai; LiuYudong; Ma Jusheng 收藏  |  浏览/下载:6/0 |
| 一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究 会议论文 第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集, 第十届全国敏感元件与传感器学术会议, 中国北京, CNKI, 全国敏感元件与传感器学术团体联合组织委员会 阮勇; 叶双莉; 张大成; 任天令; 刘理天; RUAN Yong; YE Shuang-li; ZHANG Da-cheng; REN Tian-ling; LIU Li-tian 收藏  |  浏览/下载:7/0 |
| 可动微机电器件摩擦磨损测试方法研究 会议论文 2006全国摩擦学学术会议论文集(二), 2006全国摩擦学学术会议, 中国黑龙江哈尔滨, CNKI, 中国机械工程学会摩擦学分会 孟永钢; 郭占社; Meng Yonggang; Guo Zhanshe 收藏  |  浏览/下载:3/0 |
| 梳齿式微硅加速度计的结构失效及设计改进 会议论文 中国航空学会控制与应用第十二届学术年会论文集, 中国航空学会控制与应用第十二届学术年会, 中国陕西西安, CNKI, 中国航空学会自动控制专业分会 王益; 董景新; 刘云峰; 刘冬宁 收藏  |  浏览/下载:1/0 |
| 用于MEMS器件的单面溅金硅共晶键合技术 期刊论文 2010, 2010 刘兵武; 张兆华; 谭智敏; 林惠旺; 刘理天; LIU Bing-wu; ZHANG Zhao-hua; TAN Zhi-min; LIN Hui-wang; LIU Li-tian 收藏  |  浏览/下载:6/0 |
| 一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究 期刊论文 2010, 2010 阮勇; 叶双莉; 张大成; 任天令; 刘理天; RUAN Yong; YE Shuang-li; ZHANG Da-cheng; REN Tian-ling; LIU Li-tian 收藏  |  浏览/下载:2/0 |
| 可动微机电器件摩擦磨损测试方法研究 期刊论文 2010, 2010 孟永钢; 郭占社; Meng Yonggang; Guo Zhanshe 收藏  |  浏览/下载:3/0 |
| 连接式微摩擦测试机构及设计 期刊论文 2010, 2010 郭占社; 孟永钢; 苏才钧; 吴昊; 温诗铸; GUO Zhanshe; MENG Yonggang; SU Caijun; WU Hao; WEN Shizhu 收藏  |  浏览/下载:2/0 |
| 一种微流控检测芯片的设计与工艺研究 期刊论文 2010, 2010 杨波; 唐飞; 王晓浩; 杨卓; 熊继军; Yang Bo; Tang Fei; Wang Xiaohao; Yang Zhuo; Xiong Jijun 收藏  |  浏览/下载:1/0 |
| 基于静电悬浮转子的硅微陀螺技术 期刊论文 2010, 2010 韩丰田; 吴秋平; 吴黎明; 董景新; HAN Feng-tian; WU Qiu-ping; WU Li-ming; DONG Jing-xin 收藏  |  浏览/下载:2/0 |