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上海光学精密机械研... [20]
内容类型
期刊论文 [20]
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内容类型:期刊论文
专题:上海光学精密机械研究所
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Source Mask Optimization Based on Dynamic Fitness Function
期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 111006
作者:
Yang CX(杨朝兴)
;
Li SK(李思坤)
;
Wang XC(王向朝)
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2017/12/25
Source Mask Optimization Based on Dynamic Fitness Function
期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 111006
作者:
Wang XC(王向朝)
;
Yang CX(杨朝兴)
;
Li SK(李思坤)
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2017/12/25
Metal Sheet Cutting Process Using Diode Lasers
期刊论文
光电工程, 2016, 卷号: 43, 期号: 9, 页码: 89
作者:
Cai JD(蔡锦达)
;
Chen T(陈涛)
;
Wang Y(王颖)
;
Zhi JJ(陟俊杰)
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2017/12/25
石英玻璃金属化的蒙特卡洛模拟
期刊论文
表面技术, 2014, 卷号: 43, 期号: 5, 页码: 105
作者:
崔新强
;
陈佳
;
李海兵
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2016/11/25
蒙特卡洛
金属化
离子注入
石英玻璃金属化的蒙特卡洛模拟
期刊论文
表面技术, 2014, 卷号: 43, 期号: 5, 页码: 105
作者:
崔新强
;
陈佳
;
李海兵
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2016/11/28
蒙特卡洛
金属化
离子注入
基于二次规划的光刻机光源优化方法
期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257
作者:
闫观勇
;
李思坤
;
王向朝
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2016/11/25
光学设计
光刻
分辨率增强
光源掩模优化
光源优化
二次规划
全局最优解
基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法
期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:
李兆泽
;
李思坤
;
王向朝
收藏
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2016/11/25
光学制造
光刻
光源与掩模联合优化
分辨率增强技术
工艺窗口
基于二次规划的光刻机光源优化方法
期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257
作者:
闫观勇
;
李思坤
;
王向朝
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2016/11/28
光学设计
光刻
分辨率增强
光源掩模优化
光源优化
二次规划
全局最优解
基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法
期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:
李兆泽
;
李思坤
;
王向朝
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2016/11/28
光学制造
光刻
光源与掩模联合优化
分辨率增强技术
工艺窗口
基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法
期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:
李兆泽
;
李思坤
;
王向朝
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2016/11/28
光学制造
光刻
光源与掩模联合优化
分辨率增强技术
工艺窗口
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