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上海光学精密机械研究... [4]
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学位论文 [4]
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光学工程 [4]
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光刻机光瞳整形系统设计与仿真研究
学位论文
作者:
马健
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提交时间:2018/12/26
光刻机
lithography machine
光瞳整形
pupil shaping
变焦系统
zoom system
轴锥镜组
axicon group
光学设计
optical design
光学元件波前分布对光束质量的影响研究
学位论文
作者:
徐林波
收藏
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2018/12/26
波前畸变
Wavefront aberration
数值模拟
Simulation calculation
光束质量
Beam quality
光路设计
Optical layout design
星载大气激光雷达光机集成分析的研究
学位论文
作者:
穆永吉
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2018/12/26
激光雷达,光机集成分析,有限元分析,光学设计,Zernike拟合
Lidar, Integrated optomechanical analysis, Finite element analysis, Optical design, Zernike Fitting
皮秒激光终端测量的关键准直技术研究
学位论文
作者:
闫世森
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2018/12/26
高功率激光装置
High power laser
参数测量
alignment design
准直设计
measurement control
图像处理
image analysis
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