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科研机构
上海微系统与信息技术... [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2007 [2]
2005 [1]
2004 [1]
学科主题
Physics, A... [4]
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学科主题:Physics, Applied
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Interfacial structures and electrical properties of HfAl2O5 gate dielectric film annealed with a Ti capping layer
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2007, 卷号: 90, 期号: 15, 页码: 152910-152910
Cheng, XH
;
Wan, L
;
Song, ZR
;
Yu, YH
;
Shen, DS
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/24
HAFNIUM
HFO2
SIO2
Phase change memory cell with an upper amorphous nitride silicon germanium heating layer
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2007, 卷号: 91, 期号: 7, 页码: 73505-73505
Rao, F
;
Song, ZT
;
Wu, LC
;
Zhong, M
;
Feng, SL
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/03/24
RANDOM-ACCESS MEMORY
THIN-FILMS
CRYSTALLIZATION
CONDUCTION
SEPARATION
Self-organized Ge nanocrystals embedded in HfAlO fabricated by pulsed-laser deposition and application to floating gate memory
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2005, 卷号: 86, 期号: 1, 页码: 13110-13110
Liu, WL
;
Lee, PF
;
Dai, JY
;
Wang, J
;
Chan, HLW
;
Choy, CL
;
Song, ZT
;
Feng, SL
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
DEVICE
HFO2
DIELECTRICS
OXIDATION
SIO2
Effects of buried oxide layer on indium diffusion in separation by implantation of oxygen
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2004, 卷号: 96, 期号: 6, 页码: 3217-3220
Chen, P
;
Zhu, M
;
Fu, RKY
;
Chu, PK
;
An, ZH
;
Liu, W
;
Montgomery, N
;
Biswas, S
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/03/24
TRANSIENT ENHANCED DIFFUSION
ON-INSULATOR FILMS
SILICON
SIO2
PERFORMANCE
CHANNEL
PROFILE
DEFECTS
SIMOX
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