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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：物理化学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Influence of substrate bias on microstructure and morphology of ZrN thin films deposited by arc ion plating 期刊论文 transactions of nonferrous metals society of china, 2012, 卷号: 22, 页码: s115-s119 作者:  Zhang Min;  Hu Xiao-gang;  Yang Xiao-xu;  Xu Fei-fei;  Kim, Kwang-ho 收藏  |  浏览/下载：52/0  |  提交时间：2013/10/11 zirconium nitride (ZrN)  thin film  arc ion plating  substrate bias  microstructure