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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：材料科学与物理化学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 In-situ stress suppression of hydrogenated a-CNx film prepared via Ar gas introduction 期刊论文 Surface and Interface Analysis, 2017, 卷号: 49, 期号: 5, 页码: 370-375 作者:  Wang, Qi;  He, Deyan;  Zhang JY(张俊彦) 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2017/05/10 amorphous carbon  carbon nitride films  stress  Raman