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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：微细加工技术     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 MEMS可变电容的研究现状及进展 期刊论文 微纳电子技术, 2008, 卷号: 45, 期号: 5, 页码: 287-292 李玲玉; 童富; 杨月寒; 赵建明; 刘海文 收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2015/05/18 高隔离度X波段RF MEMS 电容式并联开放室关 期刊论文 微纳电子技术, 2008, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 342-346 张　理; 姚军; 王大甲 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2015/05/18