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碳化硅材料的异质外延生长技术和射频MEMS器件研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2008
赵永梅
收藏  |  浏览/下载:43/5  |  提交时间:2009/04/13
神经微电极阵列及MEMS 工艺研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2007
张若昕
收藏  |  浏览/下载:78/9  |  提交时间:2009/04/13


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