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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：半导体物理     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 The study of high temperature annealing of a-SiC : H films 期刊论文 advanced materials forum iii, 2006, 卷号: pts 1 and 2 514-516, 期号: 0, 页码: 18-22 Zhang S; Hu Z; Raniero L; Liao X; Ferreira I; Fortunato E; Vilarinho P; Perreira L; Martins R 收藏  |  浏览/下载：62/0  |  提交时间：2010/04/11 silicon carbide  high temperature annealing  thin film  SILICON  PECVD