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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：半导体物理     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Optimization of the GaAs-on-Si Substrate for Microelectromechanical Systems (MEMS) Sensor Application 期刊论文 materials, 2012, 卷号: 5, 期号: 12, 页码: 2917-2926 Shi YB (Shi, Yunbo); Guo H (Guo, Hao); Ni HQ (Ni, Haiqiao); Xue CY (Xue, Chenyang); Niu ZC (Niu, Zhichuan); Tang J (Tang, Jun); Liu J (Liu, Jun); Zhang WD (Zhang, Wendong); He JF (He, Jifang); Li MF (Li, Mifeng); Yu Y (Yu, Ying) 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2013/03/26 Doped polycrystalline 3C-SiC films deposited by LPCVD for radio-frequency MEMS applications 期刊论文 chinese physics letters, 2008, 卷号: 25, 期号: 6, 页码: 2269-2272 Zhao, YM; Sun, GS; Ning, J; Liu, XF; Zhao, WS; Wang, L; Li, JM 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2010/03/08 CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION