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科研机构
半导体研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
1999 [1]
1995 [1]
学科主题
半导体化学 [2]
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学科主题:半导体化学
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Effect of rapid thermal annealing on Ti-AlN interfaces
期刊论文
applied surface science, 1999, 卷号: 148, 期号: 3-4, 页码: 235-240
Wang YX
;
Chen X
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提交时间:2010/08/12
electronic packaging
surface analysis
interface reaction
TITANIUM
ALUMINUM NITRIDE
A STUDY OF THE COMPOSITION DISTRIBUTION AT THE TI/AL2O3 INTERFACE USING THE MCS(+)-SIMS TECHNIQUE
期刊论文
applied surface science, 1995, 卷号: 89, 期号: 2, 页码: 169-173
CHEN X
;
WANG YX
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提交时间:2010/11/17
ION MASS-SPECTROMETRY
SECONDARY
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