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射频磁控溅射制备掺Al的纳米Si-SiO_2复合薄膜及其光致发光特性 期刊论文
功能材料, 2006, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 1706-1708
郭亨群; 杨琳琳; 王启明
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UHV/CVD外延生长SiGe/Si表面反应动力学 期刊论文
半导体学报, 2000, 卷号: 21, 期号: 6, 页码: 564
作者:  成步文
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