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科研机构
上海光学精密机械研究... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2008 [2]
学科主题
光学薄膜 [2]
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学科主题:光学薄膜
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HfO2的纯度对紫外多层膜反射率的影响
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2008, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 222, 224
袁景梅
;
齐红基
;
赵元安
;
范正修
;
邵建达
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浏览/下载:1135/161
  |  
提交时间:2009/09/22
光学薄膜
Glow discharge mass spectrum
紫外膜
Ultraviolet multilayer
ZrO2
HfO2
光学性能
Influence of ZrO
2
in HfO
2
on reflectance of HfO
2
/SiO
2
multilayer at 248 nm prepared by electron-beam evaporation
期刊论文
appl. surf. sci., 2008, 卷号: 254, 期号: 15, 页码: 4864, 4867
Yuan Jingmei
;
Yuan Lei
;
贺洪波
;
Yi Kui
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:661/148
  |  
提交时间:2009/09/22
HfO2/SiO2 multilayer
ZrO2 impurity
reflectance
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