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科研机构
上海光学精密机械研... [10]
内容类型
期刊论文 [10]
发表日期
2008 [2]
2007 [3]
2006 [3]
2005 [2]
学科主题
光学薄膜 [10]
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学科主题:光学薄膜
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50
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65
70
75
80
85
90
95
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Influence of oxygen plasma treatment on properties of ZrO
2
films prepared by e-beam evaporation techniques
期刊论文
solid state commun., 2008, 卷号: 148, 期号: 1-2, 页码: 22, 24
Zhang Dongping
;
Fan Ping
;
Cai Xing-Min
;
Liang Guangxing
;
邵建达
;
Wang Congjuan
;
Zhang Dawei
;
范正修
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浏览/下载:952/260
  |  
提交时间:2009/09/22
thin film
plasma treatment
microstructure
optical property
Annealing effects on the optical and structural properties of Al
2
O
3
/SiO
2
films as UV antireflection coatings on 4H-SiC substrates
期刊论文
appl. surf. sci., 2008, 卷号: 254, 期号: 20, 页码: 6410, 6415
Zhang Feng
;
Yang Weifeng
;
Pang Aisuo
;
Wu Zhengyun
;
Qi Hongji
;
姚建可
;
范正修
;
邵建达
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浏览/下载:842/190
  |  
提交时间:2009/09/22
annealing
Al2O3/SiO2 films
4H-SiC
external quantum efficiency
Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 763, 766
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
周洪军
;
霍同林
;
范正修
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浏览/下载:820/182
  |  
提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
Atomic force microscopy
软X射线
Magnetron sputtering
界面粗糙度
Surface roughness
反射率
X ray diffraction
不同膜层数的Mo/Si多层膜的表界面粗糙度和软X射线反射率
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2007, 卷号: 5, 期号: 5, 页码: 301, 303
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
范正修
收藏
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浏览/下载:501/116
  |  
提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
软X射线反射率
表面粗糙度
界面粗糙度
膜层数
Atomic force microscopy
Magnetron sputtering
Reflection
Surface roughness
Synchrotron radiation
X ray diffraction analysis
用不同的Mo靶溅射功率制备Mo/Si多层膜
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 67, 70
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
收藏
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浏览/下载:928/163
  |  
提交时间:2009/09/22
Mo靶
Atomic force microscopy
Mo/Si多层膜
Magnetron sputtering
溅射功率
Molybdenum
软X射线
Reflection
反射率
Surface morphology
Surface roughness
X ray diffraction analysis
X rays
伦纳德琼斯薄膜材料导热系数的分子动力学研究
期刊论文
中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: s1, 页码: 320, 323
夏志林
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:578/96
  |  
提交时间:2009/09/22
Structure and optical properties of ZnS thin films grown by glancing angle deposition
期刊论文
appl. surf. sci., 2006, 卷号: 252, 期号: 24, 页码: 8734, 8737
Wang Sumei
;
Fu Xiaoyong
;
Xia Guodong
;
Wang Jianguo
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:587/144
  |  
提交时间:2009/09/22
glancing angle deposition
microstructure
anisotropy
birefringence
Defect-induced failure of optical coating filters
期刊论文
opt. laser technol., 2006, 卷号: 38, 期号: 8, 页码: 654, 657
Zhang DP
;
邵建达
;
Qi HJ
;
Fang M
;
Yi K
;
范正修
收藏
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浏览/下载:752/73
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提交时间:2009/09/22
optical filter
defect
failure
adhesion force
纳米Mo膜的光学特性及最小连续膜厚研究
期刊论文
中国激光, 2005, 卷号: 32, 期号: 7, 页码: 977, 981
范平
;
邵建达
;
易葵
;
齐红基
;
范正修
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浏览/下载:896/122
  |  
提交时间:2009/09/22
薄膜
光学特性
尺寸效应
纳米Mo膜
最小连续膜厚
thin films
optical properties
size effect
Mo nano-film
minimal continuous thickness
测量薄膜微粗糙度的总积分散射仪
期刊论文
中国激光, 2005, 卷号: 32, 期号: 9, 页码: 1258, 1261
侯海虹
;
洪瑞金
;
张东平
;
易葵
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:843/88
  |  
提交时间:2009/09/22
测量
measurement
表面粗糙度
surface roughness
标量散射
scalar scattering
散射仪
scatterometer
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