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科研机构
上海光学精密机械研究... [9]
内容类型
期刊论文 [9]
发表日期
2007 [2]
2006 [3]
2005 [4]
学科主题
光学薄膜 [9]
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学科主题:光学薄膜
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离子束辅助反应制备的氧化铪薄膜特性
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 12, 页码: 2087
王聪娟
;
晋云霞
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:778/162
  |  
提交时间:2009/09/22
薄膜
Thin film
氧化铪
Hafnium oxide
离子束辅助
Ion-assisted deposition
反应沉积
Reactive deposition
Y_2O_3稳定ZrO_2薄膜的结构和光学特性
期刊论文
光子学报, 2007, 卷号: 36, 期号: 6, 页码: 1092, 1096
吴师岗
;
张红鹰
;
夏志林
;
田光磊
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:849/255
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提交时间:2009/09/22
YSZ薄膜
Y2O3含量
结构
光性
Mo原子溅射能量对Mo/Si薄膜微结构的影响
期刊论文
功能材料与器件学报, 2006, 卷号: 12, 期号: 2, 页码: 81, 85
秦俊岭
;
易葵
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:695/143
  |  
提交时间:2009/09/22
Mo/Si
MoSi2
溅射能量
不同氧分压下电子束蒸发氧化锆薄膜的特性
期刊论文
光电工程, 2006, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 37
张东平
;
邵淑英
;
黄建兵
;
占美琼
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:627/82
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提交时间:2009/09/22
氧化锆薄膜
氧分压
表面迁移率
薄膜特性
制备工艺条件对薄膜微结构的影响
期刊论文
中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 673, 678
田光磊
;
申雁鸣
;
沈健
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:817/83
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提交时间:2009/09/22
薄膜
X射线衍射
晶相结构
迁移率
扩散激活能
不同沉积参量下ZrO_2薄膜的微结构和激光损伤阈值
期刊论文
光学学报, 2005, 卷号: 25, 期号: 7, 页码: 994, 998
马平
;
陈松林
;
胡建平
;
胡江川
;
段立华
;
王震
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:506/95
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提交时间:2009/09/22
薄膜光学
ZrO2薄膜
X射线衍射
氧压
基体温度
激光损伤
thin film optics
ZrO2 thin film
X-ray diffraction
oxygen partial pressure
substrate temperature
laser damage
退火对ZrO2薄膜微结构及激光损伤阈值的影响
期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 卷号: 17, 期号: 2, 页码: 217, 221
田光磊
;
黄建兵
;
贺洪波
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:635/158
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提交时间:2009/09/22
退火
Annealing
ZrO2薄膜
ZrO
2
coatings
激光损伤阈值
Laser-induced damage threshold
X射线衍射
XRD
弱吸收
Weak absorption
氧分压对ZrO2薄膜激光损伤阈值的影响
期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 卷号: 17, 期号: 1, 页码: 9, 12
张东平
;
赵元安
;
范树海
;
高卫东
;
邵建达
;
范正修
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浏览/下载:636/102
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提交时间:2009/09/22
ZrO2薄膜
ZrO_2 films
氧分压
Oxygen partial pressure
激光损伤阈值
Laser induced damage threshold (LIDT)
电子束热蒸发
Electron beam evaporation
离子辅助沉积中离子束流密度的作用
期刊论文
光子学报, 2005, 卷号: 34, 期号: 3, 页码: 477, 480
张大伟
;
洪瑞金
;
范树海
;
王英剑
;
邵建达
;
范正修
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浏览/下载:966/189
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提交时间:2009/09/22
离子辅助
Ion beam assisted
离子束流密度
Ion current density
热尖峰
Thermal-spike
晶相
Crystal phase
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