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科研机构
兰州大学 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2009 [4]
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发表日期:2009
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CMOS工艺聚酰亚胺电容型湿度传感器的研究
期刊论文
电子元件与材料, 2009, 期号: 12, 页码: 19-22
作者:
崔千红
;
杨子健
;
韦波
;
杨建红
收藏
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提交时间:2015/04/27
湿度传感器
电容型
聚酰亚胺
CMOS工艺
聚酰亚胺电容式湿度传感器的制备工艺研究
期刊论文
传感器与微系统, 2009, 期号: 4, 页码: 56-58
作者:
杨子健
;
韦波
;
王敬松
;
崔千红
;
杨建红
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/04/27
湿度传感器
电容
CMOS工艺
响应时间
基于CMOS工艺的硅基PI湿度传感器的研制
期刊论文
半导体技术, 2009, 期号: 4, 页码: 385-388
作者:
杨子健
;
韦波
;
王敬松
;
崔千红
;
杨建红
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2015/04/27
湿度传感器
聚酰亚胺
平行板电容
CMOS工艺
响应时间
掺杂VO_2薄膜的制备及其光电性质
期刊论文
半导体技术, 2009, 期号: 2, 页码: 165-167+188
作者:
杨子健
;
杨爱国
;
杨建红
;
冯浩
;
李冠斌
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/04/27
二氧化钒薄膜
磁控共溅射
掺杂
光电特性
能带
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