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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2004     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fabrication and characterization of tunneling current of anodic bonded dry-etched MEMS tunneling accelerometer 期刊论文 pan tao ti hsueh paochinese journal of semiconductors, 2004 Dong, Haifeng; Hao, Yilong; Jia, Yubin; Yan, Guizhen; Wang, Ying; Li, Ting 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/16 3D simulation of profile evolution in silicon DRIE 其他 2004-01-01 Zhou, Rongchun; Zhang, Haixia; Hao, Yilong; Wang, Yangyuan 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13 Measurement technique of in-plane motion for MEMS based on blur image synthesis 其他 2004-01-01 Jin, Cuiyun; Li, Dachao; Wang, Likun; Jin, Shijiu; Feng, Yalin; Hao, Yilong 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/13