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兰州大学 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1990 [1]
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发表日期:1990
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B掺杂a-SiC:H_本征a-Si:H异质结中的B扩散
期刊论文
物理学报, 1990, 期号: 12, 页码: 1982-1988
作者:
张仿清
;
贺德衍
;
宋志忠
;
柯宁
;
陈光华
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提交时间:2015/04/27
异质结:4975
B掺杂:4949
a-Si:H:4871
本征:2622
B含量:2392
扩散系数:2156
退火过程:2035
原子浓度:1450
剖面分布:1347
浓度剖面:1305
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