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上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1989 [1]
学科主题
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发表日期:1989
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SYNTHESIS OF SILICON-NITRIDE FILMS BY ION-BEAM ENHANCED DEPOSITION
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1989, 卷号: 39, 期号: 1-4, 页码: 185-189
LIU, XH
;
XUE, B
;
ZHENG, ZH
;
ZHOU, ZY
;
Zou, SC(邹世昌)
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提交时间:2012/03/25
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