QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：1987     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 非晶态异质结构a-Si:H_a-SiN_x:H和a-Si:H;a-SiN_x:H薄膜的应力研究 期刊论文 物理学报, 1987, 期号: 12, 页码: 1529-1537 作者:  王万录;  廖克俊 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/04/27 a-Si:H:7232  张应力:3252  压缩应力:3237  H膜:2607  异质结构:2606  硅衬底:2051  非晶膜:1730  非晶态半导体:1644  硅单晶:1261  衬底温度:1235