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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：1987     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 研究光谱线结构的新方法-多光束干涉光谱技术的研究 成果 1987 主要完成人:  赵葆常;  李春芳;  薛鸣球 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/06/27 OLD诊断SiH_4的LPCVD动力学过程 期刊论文 中国激光, 1987, 期号: 11, 页码: 671-673+661 作者:  傅广生[1];  李晓苇[2];  韩理[3];  张连水[4];  董丽芳[5] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/31 激波效应  LPCVD  气体动力学  OLD  SiH_4  等离子体淀积  激光辐照  硅薄膜  激光偏转  反应室