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光电技术研究所 [3]
上海光学精密机械研究... [1]
内容类型
期刊论文 [2]
会议论文 [1]
学位论文 [1]
发表日期
2009 [4]
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发表日期:2009
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Fabrication of Nanoscale Line Width Using the Improved Optical Maskless Lithographic System
期刊论文
JOURNAL OF COMPUTATIONAL AND THEORETICAL NANOSCIENCE, 2009, 卷号: 6, 期号: 5, 页码: 1170-1174
作者:
Jiang, Wenbo
;
Hu, Song
;
Zhao, Lixin
;
Yan, Wei
;
Yang, Yong
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2015/09/21
Maskless Lithography
Key Techniques
Lithographic Experiment
Nanoscale
Study on laser direct writing system for 32nm node
会议论文
Proceedings of SPIE, 2009
作者:
Jiang Wenbo
;
Hu Song
;
Yang Yong
;
Zhao Lixin
;
Yan WEi
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2016/11/24
Fabrication of nanoscale line width using the improved optical maskless lithographic system
期刊论文
Journal of Computational and Theoretical Nanoscience, 2009, 卷号: 6, 期号: 5, 页码: 1170-1174
作者:
Jiang Wenbo
;
Hu Song
;
Zhao Lixin
;
Yan WEi
;
Yang Yong
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2016/11/23
飞秒激光与铬膜的相互作用研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:
谢金
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2016/11/28
飞秒激光
金属铬膜
衍射光学现象
PDMS
微波纹
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