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浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 限定条件 发表日期：2006     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A full cmos integration including isfet microsensors and interface circuit for biochemical applications 期刊论文 Rare metal materials and engineering, 2006, 卷号: 35, 页码: 443-446 作者:  Wei, Jinbao;  Yang, Haigang;  Sun, Hongguang;  Lin, Zengjin;  Xia, Shanhong 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2019/05/10 Isfet  Interface circuit  Integration and post processing   基于MEMS技术的光纤声传感器技术研究 学位论文 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006 许晓昕 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2012/03/06 声传感器  光纤传感  MEMS  Pyrex 7740深刻蚀  F-P腔  衍射光栅   防粘连硅微电容传声器的研究 学位论文 博士, 声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2006 潘昕 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2011/05/07 MEMS  硅微电容传声器  防粘连  微突出   A posteriori error analysis for FEM of thermistor problems 期刊论文 INTERNATIONAL JOURNAL OF NUMERICAL ANALYSIS AND MODELING, 2006, 卷号: 3, 期号: 4, 页码: 413-436 作者:  Allegretto, Walter;  Yan, Ningning 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2018/07/30 thermistor problems  adaptive finite element methods  a posteriori error analysis   Tens femtogram resoluble piezoresistive cantilever sensors with optimized high-mode resonance excitation 期刊论文 2006 1st IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, Vols 1-3, 2006, 页码: 832-836 Jin, DZ; Liu, H; Li, XX; Liu, M; Zuo, GM; Wang, YL; Yu, HT; Ge, XH 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2011/12/17 FREQUENCY STABILITY  MICROCANTILEVERS  TRANSDUCERS  SYSTEMS   Tens femtogram resoluble piezoresistive cantilever sensors with optimized high-mode resonance excitation 期刊论文 2006 1st IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, Vols 1-3, 2006, 页码: 832-836 Jin, DZ; Liu, H; Li, XX; Liu, M; Zuo, GM; Wang, YL; Yu, HT; Ge, XH 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2011/12/17 FREQUENCY STABILITY  MICROCANTILEVERS  TRANSDUCERS  SYSTEMS   基于MEMS技术的磁珠微芯片的模拟及工艺研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 王彬   收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/03/06 磁珠  MEMS  微流体  模拟分析  平面线圈  塑性材料微加工     High-mode resonant piezoresistive cantilever sensors for tens-femtogram resoluble mass sensing in air 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2006, 卷号: 16, 期号: 5, 页码: 1017-1023 Jin, DZ; Li, XX; Liu, J; Zuo, GM; Wang, YL; Liu, M; Yu, HT 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2011/11/08 FREQUENCY STABILITY  MICROCANTILEVERS  SYSTEMS  TRANSDUCERS  GAS   Single-wafer-processed nano-positioning XY-stages with trench-sidewall micromachining technology 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2006, 卷号: 16, 期号: 7, 页码: 1349-1357 Gu, L; Li, XX; Bao, HF; Liu, B; Wang, YL; Liu, M; Yang, ZX; Cheng, BL 收藏  |  浏览/下载：78/0  |  提交时间：2011/11/08 HIGH-ASPECT-RATIO  CRYSTAL SILICON  COMB ACTUATORS  MICROSTRUCTURES  MICROACTUATORS  FABRICATION  MEMS  MASK   Piezoelectric microcantilevers with two PZT thin-film elements for microsensors and microactuators 会议论文 IEEE International Conference of Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, Zhuhai, PEOPLES R CHINA, 2006-01-18 作者:  Liu, Mengwei;  Cui, Tianhong;  Dong, Weijie;  Cui, Yan;  Wang, Jing 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/27 MEMS  piezoelectric microcantilever  PZT thin film  microsensor  microactuator