QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 限定条件 发表日期：2006     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于MEMS技术的光纤声传感器技术研究 学位论文 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006 许晓昕 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2012/03/06 声传感器  光纤传感  MEMS  Pyrex 7740深刻蚀  F-P腔  衍射光栅   防粘连硅微电容传声器的研究 学位论文 博士, 声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2006 潘昕 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2011/05/07 MEMS  硅微电容传声器  防粘连  微突出   硅-硅键合界面氧化层模型与杂质分布的模拟 期刊论文 固体电子学研究与进展/Guti Dianzixue Yanjiu Yu Jinzhan/Research and Progress of Solid State Electronics, 2006, 卷号: 26, 期号: 1, 页码: 134-138 作者:  陈新安;  黄庆安;  刘肃;  李伟华 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/04/27 硅-硅直接键合  本征氧化物  界面氧化层模型  杂质分布  Diffusion coefficient  Impurity distribution  Impurity segregation coefficient  Interfacial layer  Interfacial oxide  Microelectromechanical system  Model of interfacial oxide  Native oxide  Silicon direct bonding   微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试和研究 期刊论文 物理学报, 2006 阮勇; 郇勇; 张大成; 张泰华; 王阳元 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/11 阳极键合  硅深刻蚀  键合强度  最大抗扭强度  anodic bonding  DRIE  bonding strength  maximal torsional strength   A flip-chip assembled microplatform for hybrid MEMS 其他 2006-01-01 Yang, Mei; Chen, Jing; Hao, Yilong 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/16 microassembly  micromig  electroplating  surface tension  self-alignment  surface treatment  soldering   Tens femtogram resoluble piezoresistive cantilever sensors with optimized high-mode resonance excitation 期刊论文 2006 1st IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, Vols 1-3, 2006, 页码: 832-836 Jin, DZ; Liu, H; Li, XX; Liu, M; Zuo, GM; Wang, YL; Yu, HT; Ge, XH 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2011/12/17 FREQUENCY STABILITY  MICROCANTILEVERS  TRANSDUCERS  SYSTEMS   Tens femtogram resoluble piezoresistive cantilever sensors with optimized high-mode resonance excitation 期刊论文 2006 1st IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, Vols 1-3, 2006, 页码: 832-836 Jin, DZ; Liu, H; Li, XX; Liu, M; Zuo, GM; Wang, YL; Yu, HT; Ge, XH 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2011/12/17 FREQUENCY STABILITY  MICROCANTILEVERS  TRANSDUCERS  SYSTEMS   基于MEMS技术的磁珠微芯片的模拟及工艺研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 王彬   收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/03/06 磁珠  MEMS  微流体  模拟分析  平面线圈  塑性材料微加工     High-mode resonant piezoresistive cantilever sensors for tens-femtogram resoluble mass sensing in air 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2006, 卷号: 16, 期号: 5, 页码: 1017-1023 Jin, DZ; Li, XX; Liu, J; Zuo, GM; Wang, YL; Liu, M; Yu, HT 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2011/11/08 FREQUENCY STABILITY  MICROCANTILEVERS  SYSTEMS  TRANSDUCERS  GAS   Single-wafer-processed nano-positioning XY-stages with trench-sidewall micromachining technology 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2006, 卷号: 16, 期号: 7, 页码: 1349-1357 Gu, L; Li, XX; Bao, HF; Liu, B; Wang, YL; Liu, M; Yang, ZX; Cheng, BL 收藏  |  浏览/下载：78/0  |  提交时间：2011/11/08 HIGH-ASPECT-RATIO  CRYSTAL SILICON  COMB ACTUATORS  MICROSTRUCTURES  MICROACTUATORS  FABRICATION  MEMS  MASK