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电磁激励高阶模态硅微机械悬臂梁的驱动结构、制作方法及应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1880211, 申请日期: 2006-12-20, 公开日期: 2006-12-20
李昕欣; 金大重; 刘剑; 左国民; 刘民
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