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上海微系统与信息技术... [3]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2005 [3]
学科主题
Engineerin... [1]
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发表日期:2005
专题:上海微系统与信息技术研究所
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Ferroelectric and piezoelectric properties of Pb(Zr,Ti)O-3 thin films integrated on SOI wafers
期刊论文
INTEGRATED FERROELECTRICS, 2005, 卷号: 69, 页码: 223-229
Wang, Y
;
Cheng, YL
;
Liu, WL
;
Lam, TY
;
Song, ZT
;
Feng, SL
;
Chan, HLW
;
Choy, CL
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/24
LEAD-ZIRCONATE-TITANATE
THEORETICAL CALCULATIONS
MEMS
SI
一种压阻式微机械陀螺的研究
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2005
陈雪萌
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/03/06
MEMS
微机械陀螺
压阻
温度补偿
DRIE
悬臂梁式MEMS探卡的设计和制造技术
学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2005
郭南翔
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2012/03/06
MEMS
探卡
悬臂梁
自隔离
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