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科研机构
兰州化学物理研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2005 [2]
学科主题
材料科学与物理化学 [2]
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发表日期:2005
学科主题:材料科学与物理化学
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用等离子体增强化学气相沉积技术制备类金刚石碳薄膜的摩擦磨损性能研究
期刊论文
摩擦学学报, 2005, 卷号: 25, 期号: 4, 页码: 298-302
作者:
李红轩
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提交时间:2014/03/03
等离子体增强化学气相沉积
类金刚石碳薄膜
结构
摩擦磨损性能
PECVD
DLC film
structure
friction and wear behavior
直流负偏压对类金刚石薄膜结构的影响
期刊论文
化学研究, 2005, 卷号: 16, 期号: 1, 页码: 35-38
常海波
;
徐洮
;
张治军
;
刘惠文
收藏
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浏览/下载:11/0
  |  
提交时间:2014/03/03
直流负偏压
类金刚石薄膜
等离子体
气相沉积
DC negative bias
diamond-like carbon films
plasma
vapor deposition
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