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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 发表日期：2004     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 VHF-PECVD法高速率沉积氢化微晶硅薄膜 期刊论文 2004, 卷号: 25, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 127 作者:  杨恢东 [1];  吴春亚 [2];  黄君凯 [3];  麦耀华 [2];  张晓丹 [2] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/03 光发射谱  氢化微晶硅薄膜  甚高频等离子体化学气相沉积  高速沉积   纯化器对VHF-PECVD制备的不同结构硅薄膜特性的影响 期刊论文 人工晶体学报, 2004, 卷号: 第33卷, 页码: 892-897 作者:  张晓丹;  赵颖;  朱锋;  魏长春;  高艳涛 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/03/04 甚高频等离子体增强化学气相沉积  纯化器  硅薄膜   辉光功率对VHF-PECVD制备的硅基薄膜特性的影响 期刊论文 人工晶体学报, 2004, 卷号: 第4期, 页码: 662-666 作者:  张晓丹;  赵颖;  朱锋;  魏长春;  孙建 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/03/01 甚高频等离子体增强化学气相沉积  过渡区  微区喇曼光谱  扫描电子显微镜   气压对VHF-PECVD制备的μc-Si:H 薄膜特性影响的研究 期刊论文 人工晶体学报, 2004, 卷号: 第33卷, 页码: 414-418 作者:  张晓丹;  朱锋;  赵颖;  侯国付;  魏长春 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/03/01 甚高频等离子体增强化学气相沉积  氢化微晶硅薄膜  傅立叶变换红外光谱  X射线衍射  微区喇曼光谱   微晶硅薄膜纵向不均匀性的Raman光谱和AFM研究 期刊论文 人工晶体学报, 2004, 卷号: 第33卷, 页码: 960-964 作者:  张晓丹;  赵颖;  朱锋;  魏长春;  吴春亚 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/03/01 甚高频等离子体增强化学气相沉积  纵向均匀性  微晶硅薄膜