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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：1995     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 氩离子注入硅中的行为研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 1995 胡建忠 收藏  |  浏览/下载：42/0  |  提交时间：2012/03/06 离子注入  硅  氩离子  氧化层错